Nīderlandes uzņēmums Levitech, kas ir ASM atvasināta kompānija, projektē un ražo iekārtas pusvadītāju nozarei. Lai panāktu tirgū pieprasītās mazākās struktūras un lielāku pusvadītāju homogenitāti, mašīnu ražotājam bija jāievieš jaunas siltuma pārvades metodes. Tam nepieciešama ātrāka temperatūras korekcija un, pats galvenais, precīzāka kontrole. Tāpēc Levitech meklēja alternatīvu savas Levitor mašīnas termiskā procesa kontrolei. Uzņēmums no Almeres, Nīderlandē, atrada partneri JUMO, ar kuru varēja īstenot šo risinājumu.
Plākšņu reaktors sastāv no 2 grafīta diskiem, kas tiek uzkarsēti līdz atbilstošai procesa temperatūrai. Lai sasniegtu optimālus rezultātus, šiem diskiem jābūt ar īpašām īpašībām. Procesa laikā izmanto gāzi, kas liek plāksnītes diskam peldēt starp abiem diskiem, tiem neskaroties. Lai sasniegtu nepieciešamo 1200 grādu temperatūru, tiek izmantoti īpaši Kanthal® sildelementi.
Mērķis bija izmantot inovatīvas siltuma pārneses metodes, kas ļauj plāksnei ļoti ātri sakarst un arī ļoti ātri atdzist. Abās plāksnītes pusēs ir vienāds 0,15 milimetru plats atvērums, kas nodrošina ārkārtīgi efektīvu siltumvadītspēju. Vafele līdz grafīta disku temperatūrai uzsilst dažu sekunžu laikā. To kontrolē īpaša sildīšanas kontroles sistēma.
Levitor pusvadītāju ražošanas iekārta no Levitech
Sildīšanas kontrolei tiek izmantots JUMO tiristora jaudas kontrolieris. JUMO TYA 201 kontrolieris kontrolē Kanthal® sildelementa vēlamo strāvu un spriegumu katrā temperatūras fāzē, tādējādi nodrošinot precīzu procesa temperatūras profilu. Šī sistēma ļauj ražot plāksnītes optimālā temperatūrā, kas vienmēr ir identiska.
Levitech Levitor plāksnes
Levitech Levitor termiskā procesa plāksne
Pateicoties JUMO TYA 201 tiristora jaudas regulatora raksturlielumiem, var izpildīt prasību pēc precīzākas vadības un ātrākas temperatūras korekcijas. Rezultātā tagad pusvadītāju ražošanā var izmantot inovatīvas siltuma pārvades metodes. Šādā veidā Levitech izpilda tirgus prasības un vienlaikus palielina produktivitāti.
